Dalam proses Plasma-to-Chemical Vapor Deposition (PECVD), setiap koneksi listrik, mulai dari transmisi daya RF hingga kontrol gas proses, secara langsung memengaruhi keseragaman deposisi lapisan tipis dan hasil produksi chip. Menghadapi lingkungan yang keras dari peralatan yang berukuran sangat kecil, vakum tinggi, dan interferensi elektromagnetik yang kuat,WAGOKonektor picoMAX®, dengan tiga keunggulan utamanya yaitu "kekompakan, keandalan, dan efisiensi," telah menjadi solusi koneksi ideal untuk sistem PECVD.
Desain Kompak yang Inovatif
Beradaptasi dengan Tata Letak Ruang Presisi
Ruang internal peralatan PECVD terbatas, sehingga memerlukan penataan jalur daya, sinyal, dan sensor yang rapat di sekitar ruang reaksi. picoMAX® menggunakan desain pegas tunggal, kerja ganda, dengan beberapa jarak antar pin 3,5/5,0/7,5 mm yang tersedia. Setelah dipasang, ia menempati ruang 30% lebih sedikit daripada produk sebelumnya, sangat sesuai dengan kebutuhan pengkabelan di sekitar ruang reaksi. Konektor tipe lubangnya hampir sepenuhnya tertanam di header pin, mendukung perakitan berdampingan tanpa kehilangan kutub, secara signifikan meningkatkan pemanfaatan papan sirkuit dan memungkinkan penataan jalur sinyal dan daya yang teratur tanpa mengganggu medan aliran gas proses.
Perlindungan Tangguh Terhadap Kondisi Operasi Ekstrem
Proses PECVD melibatkan lingkungan vakum tinggi, plasma frekuensi tinggi, dan getaran, yang menuntut keandalan konektor yang ketat. picoMAX® memiliki struktur yang stabil dengan ketahanan getaran hingga 12g, mencegah kelonggaran koneksi yang disebabkan oleh getaran frekuensi tinggi. Selain itu, picoMAX® juga dilengkapi dengan desain anti-salah pasang dan perangkat pengunci, yang menghilangkan kesalahan pemasangan dan mencegah pemutusan sambungan secara tidak sengaja, sehingga memastikan pengoperasian peralatan yang berkelanjutan tanpa waktu henti.
Koneksi Cepat Tanpa Alat
picoMAX® memiliki teknologi sambungan cepat tanpa alat, memungkinkan sambungan "pasang dan tahan" untuk kabel untai tunggal dan multi-untai dengan konektor yang dipres dingin. Sambungan kabel yang kompleks diselesaikan dalam satu langkah, secara signifikan meningkatkan efisiensi perakitan dan mempersingkat siklus debugging. Desain modularnya kompatibel dengan proses penyolderan reflow, memenuhi kebutuhan pengurangan biaya produksi otomatis. Produk ini juga mencakup semua skenario sambungan PECVD: jarak antar pin 3,5 mm mengakomodasi kabel sinyal 0,2-1,5 mm², sedangkan jarak antar pin 5,0/7,5 mm mendukung saluran daya 16A. Produk ini mendukung metode pemasangan kabel ke papan dan melalui dinding, kompatibel dengan kabinet kontrol dan pengkabelan rongga, serta sesuai dengan standar keselamatan listrik GB/T 5226.1, membangun pertahanan yang kuat untuk stabilitas proses.
Dalam industri semikonduktor, di mana presisi proses tingkat nanometer sangat penting, koneksi yang andal adalah jaminan hasil produksi yang tinggi.WAGOpicoMAX®, dengan konsep desain produk revolusionernya, mencapai "ukuran kecil, kinerja tinggi" dalam jejak yang ringkas, menyediakan solusi koneksi yang stabil, efisien, dan tahan lama untuk peralatan PECVD. Hal ini membantu produsen semikonduktor mengatasi tantangan koneksi proses presisi, menjaga presisi tingkat mikrometer dari setiap chip.
Waktu posting: 13 Maret 2026